ローカルのOSXのapacheで開発を行うとき mi などでCGIスクリプトファイルを開いたまま
そのCGIを実行すると「Internal Server Error」となりエラーログを見てみると

「Premature end of script headers: /Library/WebServer/myprogram.cgi」

となる事があります。

これはエディタ【mi】の環境設定で【その他】【編集中は他のアプリからの書き込みを禁止する】
にチェックがついているとなる。
必死にcgiスクリプトを修正しても直らないので注意。